Chế tạo giao thoa kế moiré để phân tích độ rung của bản phẳng

Abstract

Rung động là yếu tố quan trọng trong sự vận hành của một thiết bị và sự phân tích rung động là công việc hết sức cần thiết để đánh giá hoạt động của thiết bị đó. Giao thoa kế moiré được đánh giá là một công cụ hiệu quả để phân tích dao động ở biên độ nhỏ cỡ micromét. Trong bài viết này, phương pháp projection moiré được sử dụng để phân tích độ rung của bản phẳng với biên độ rung cỡ 1,0 μm – 30 μm với độ nhạy cao phụ thuộc vào việc phân tích hệ vân moiré.